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2000年10月
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山梨県北巨摩郡小淵沢町（現 山梨県北杜市小淵沢町）に創業者の研究成果を世の中に還元することを目的として株式会社オキサイドを設立 |
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2001年5月
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Super LN/LT新製品開発に成功 国際展示会で販売開始 |
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2003年9月
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東芝セラミックス株式会社（現 クアーズテック株式会社）と資本・業務提携 |
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2005年6月
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本社及び第１工場を山梨県北杜市武川町（現所在地）に移転 |
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2005年12月
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三菱電線工業株式会社より光デバイス事業買収 |
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2006年6月
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株式会社ニコンと資本・業務提携 |
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2006年8月
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米国KLA-Tencor Corporation（現 KLA Corporation）と資本・業務提携 |
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2007年10月
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エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社と資本・業務提携 |
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2008年3月
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山梨県北杜市に第２工場竣工 |
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2008年10月
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第１・２工場が、ISO9001認証取得 |
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2008年12月
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レーザーテック株式会社と資本提携 |
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2010年9月
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株式会社マグネスケールよりレーザ事業買収 |
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2010年10月
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神奈川県横浜市港北区に横浜事業所を設置 |
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2012年4月
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久保田研究所を設立 |
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2013年2月
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266nmCWレーザ、ニューラインナップ発売開始 |
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2013年4月
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光学的ノイズ（スペックルノイズ）測定器であるDr.SPECKLE、ニューラインナップ発売開始 |
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2015年3月
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日立化成株式会社（現 株式会社レゾナック）よりシンチレータ単結晶事業買収、
山梨県北杜市に第３工場取得 |
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2016年6月
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横浜事業所を神奈川県横浜市保土ヶ谷区（現所在地）に移転
国際電気標準会議より、スペックル測定方法の国際標準取得
（発行No.IEC 62906-5-2:2016 Laser display devices -Part 5-2） |
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2016年8月
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株式会社日立ハイテクノロジーズ（現 株式会社日立ハイテク）と資本・業務提携 |
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2018年8月
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米国Lumeras LLCから真空紫外レーザ事業買収 |
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2019年6月
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デンマークNKT Photonics A/Sとフェムト秒レーザの開発・製造で業務提携 |
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2020年2月
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LASEA S.A.とレーザ微細加工機の販売で業務提携 |
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2020年4月
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久保田研究所をレーザ事業部に統合 |
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2021年4月
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東京証券取引所マザーズに株式を上場 |
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2021年10月
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株式会社UJ-CrystalとSiC単結晶の量産化に向けた研究開発で資本業務提携 |
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2022年3月
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山梨県北杜市に第６工場取得 |
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2022年4月
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東京証券取引所の市場区分の見直しにより、同取引所グロース市場に移行 |
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2022年5月
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LQUOM株式会社と長距離量子通信機器の実用化に向けた研究開発で資本業務提携 |
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2022年6月
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株式会社日立ハイテクとの資本提携は解消（業務提携は継続） |
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2023年3月
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Raicol Crystals Ltd.（イスラエル）を子会社化
山梨県北杜市に第４工場（第１期工事）と第５工場竣工 |
